Le CETIAT partenaire du projet européen PROMETH2O

Dans le cadre du projet européen de recherche en métrologie PROMETH2O, qui porte sur la mesure de l'humidité (vapeur d'eau) dans les gaz, le CETIAT contribuera au développement d'un hygromètre acoustique, élaboré par le LNE-Cnam, en étendant se capacités d'étalonnage vers les bas niveaux d'humidité.

Coordonné par l'INRIM, le projet PROMETH2O réunit 19 partenaires européens pour optimiser les mesures de traces d'eau dans les gaz ultra haute pureté (UHP) et améliorer la traçabilité au SI (Système International d'unités) en améliorant les moyens de référence et de génération d'humidité.

La vapeur d'eau est considérée comme l'un contaminant critique dans les gaz UHP. Les connaissances métrologiques manquent alors que les exigences en la matière augmentent : niveau de pureté attendu compris entre 5 ppm et 5 ppb. Pour les producteurs de gaz et les fabricants d'instruments d'analyse les enjeux sont de taille notamment avec une demande très soutenue dans les secteurs de la micro-électronique, de la santé et de la pharmaceutique.

Au travers de ce projet, le consortium vise à fournir et améliorer les mesures de traces d'eau, lors de la production des gaz UHP et en démontrer l'impact au travers de certains procédés et applications industrielles qui auront été identifiés.

Les objectifs du consortium sont les suivants :

• Améliorer les méthodes de mesure des traces d'eau sur la gamme allant de 5 ppmv à 5 ppbv, avec une incertitude type comprise entre 3 % et 8 % ;
• Fournir une traçabilité au SI robuste via le développement et l'amélioration de nouvelles références sur la gamme allant de 5 ppmv à 5 ppbv, avec une incertitude type comprise entre 3 % et 8 % et pour des matrices gazeuses telles que l'air, le diazote, l'argon et le dihydrogène ;
• Améliorer la connaissance des données thermo-physiques pour les mélanges de gaz humides réels ;
• Prouver l'amélioration des méthodes de mesure, sur la gamme allant de 5 ppmv à 5 ppbv, en les appliquant sur des procédés industriels identifiés ;
• Favoriser la dissémination et l'émergence des différentes technologies de mesures auprès des différents acteurs de la chaîne de valeur des gaz purs, du producteur à l'utilisateur.

PROMETH2O bénéficiera d'un financement européen soutenu par le programme EMPIR d'EURAMET à hauteur de 1,8 M€ pour une durée de 36 mois à compter de juin 2021.